Содержание.

стр.

1. Введение.3

1.1. Термодинамика травления.5

1.2. Общие принципы кинетики травления.8

1.3. Феноменологический механизм травления.9

2. Жидкостное травление.11

2.1. Травление SiO2.11

2.2. Травление кремния.14

2.3. Травление многослойных структур.19

2.4. Травление алюминия.20

2.5. Травители для алюминия.21

2.6. Электрохимическое травление.23

3. Практические аспекты жидкостного химического23

травления.

3.1. Другие характеристики травления.24

4. Заключение.25

5. Список литературы.26